超聲波流量計(jì)主要應(yīng)用在半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理。它是一種用于檢測半導(dǎo)體制造裝置內(nèi)，涂布藥液的流量管理的一種測量儀器，此種儀器的特性是配管兩端裝有超聲波探頭，相互進(jìn)行收發(fā)信號，測定各自傳播時(shí)間；順流的超聲波會很快到達(dá)，相反逆向的超聲波則會較晚達(dá)到，根據(jù)傳播時(shí)間算出流速，并通過流速算出流量。

我們現(xiàn)在要知道的是在它使用的各種測量流量的場所和領(lǐng)域過程中，如何做到正確使用超聲波流量計(jì)對其使用壽命至關(guān)重要。